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第1885章
“秦总,您提出来的浸润式光刻机路线,完全正确,我们成功地将193纳米的光源,降低到了134纳米,而且没有产生其他的不利后果,利用这种设备,我们足以把工艺制程推进到28纳米以下!”
张汝金是最高兴的,他的芯片厂,可以开足马力生产了!
“对于目前已经成熟的0。
13微米生产工艺,我们只需要一次曝光就能完成,生产效率大幅度提升,成本也能降低三分之一以上!”
之前用193纳米的光源,需要多次曝光,才能实现0。
13微米的工艺生产,当然,继续多重曝光,还能做到90纳米,甚至是更小,但是业界都认为,65纳米是多次曝光的极限了。
现在,浸润式光刻机,成功地把光源降低到了134纳米!
0。
13微米工艺,一次曝光就行!
继续多重曝光,28纳米都不是梦,甚至还能继续推进到几纳米的水平!
当然,那样做良品率会下降得可怕,但是如果EUV光刻机研发遇到难题的时候,也可以先凑合。
徐教授在一旁,也很是骄傲,这几年,来阳集团一直在砸钱,支持他的研发,烧掉了十几亿,终于,国产光刻机搞出来了,还是全世界最先进的!
还好,没有给集团丢脸,集团不管搞什么,都要搞到世界第一!
“秦总,我们的芯片工厂。
。
。
。
。
。”
一旁传来了威盛公司负责人的声音。
威盛因为受到了迫害,不得不搬回了大陆,和中芯国际挨着,因为没生产工厂,现在只剩下设计芯片的能力。
他们也在等待着自己的芯片工厂呢!
“你们放心,今年内,咱们一定可以给你们威盛供货,让你们把自己的芯片工厂建立起来!”
秦川说道:“威盛是我们最亲密的战略盟友,我们对朋友,一向都是最真诚的!”
王雪和陈文对视一眼,都看到了对方眼睛里的兴奋,有了这么先进的生产线,他们的工艺,当然也要直接进入0。
13微米时代!
“秦总,我们预期今年内,90纳米的工艺就能彻底成熟,我们的龙芯三号,就计划采用90纳米工艺了!”
一旁,倪老满脸兴奋。
工艺越先进,芯片的性能就越强!
“哦?龙芯三号什么时候出来?”
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