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第14章 星火一号光源测试上（第2页）

九州半导体的芯片生产基地坐落在庐州，是徽省管辖，于情于理为徽省在国庆节露一次脸争些面子也是分内之事，“县官不如现管”

，芯片半导体基地的发展离不开徽省的支持，合则两利，更何况也是顺道的事情。

“星火一号芯片试生产现在定了两个时间，一个是下个月的25日，一个是9月20日，至于是选择哪个时间，就要看光源和光刻机的调试什么时候可以结束了。

毕竟这是九州半导体第一次生产芯片，需要慎重点，不能打了科研工作人员的信心。”

张林解释道，同时这两个时间也是他和张如京、蒋尚意等人商议后共同定下的。

现在芯片生产基地已经可以看到胜利的曙光了，九州半导体现在已经不是求快，而是求稳，稳中求胜。

走了一会张林问道：“张书记，不知道给芯片生产基地配套的水、电、特气化学品、超纯水等供应能不能按时供应？

特气化学品、超纯水等还能从别的地方采购，但是水电可没有办法从别的地方采购，只能靠徽省为我们解决。

虽然我们这个芯片生产基地和传统的芯片光刻机不同，能量利用效率更高，但是再怎么改也改不了它是一个耗电的大户，光源产生的光全是靠电力驱动的，而且芯片生产还需要超纯水、稀有气体等，如果没有充足的能源和资源供应，到时芯片基地建好，也只沦为摆设。”

星火一号的光源直径是500米，光源周围有两座有已经建好的无尘车间，但更多的还是正在建设的各种国际标准ISO4级或ISO5级顶级的无尘车间正在建设，一个光源有20条生产线，建成之后，这里将会是徽省的一个耗电大户，真正的电老虎。

同时这个芯片生产基地采用的是和ASML于2010年也就是今年推出的EUV光刻机NXE：3100同样的路子。

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ASML的EUV光刻机机台得“光线”

经过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到2%的光线，能量浪费严重，一台光刻机一天使用下来，最少也得需要上万度的电能。

然而，一条芯片生产线上可不仅仅只有一台光刻机这么简单。

实际上，一条芯片生产线它是由大约十余台不同型号的光刻机共同构成的，此外还有大量的高温氧化退火设备、化学气相沉积（CVD）设备、涂胶去胶设备、刻蚀设备、离子注入设备、物理气相沉积设备、研磨抛光设备、清洗设备、检测设备等等。

如此多的设备，其耗电量可想而知。

尽管九州半导体的这个芯片生产基地摒弃了传统的“一台光刻机对应一个光源”

的设计模式，并采用了更为节能的稳态微聚束光源技术，大大降低了能源消耗。

根据研发团队的介绍，这种新技术能够将光线利用率提升至50%以上，如果未来能实现20条生产线全面投产，光线的利用率甚至有望超过90%。

不过，这只是光刻机一项带来的改进，其他设备所需的电能并没有因此而减少。

每年耗费百亿度电是最少的，能直接把庐州的全年累计用电量提升一个大大的台阶。

如果再加上给芯片半导体基地建设配套的那些工厂，简直是无法想象.......

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