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曲卓一阵无语。
问了一嘴才知道,不苟言笑的家伙姓罗,是安全部门新派到四机部的驻点安全员。
虽然平时在四机部上班,但证件上的单位还是所属部门。
明天有一场级别挺高的会,各地的与会人员今天陆续抵京,火车站安全检查比平时严格了不少。
之前估算时间Z36快到了,黎部长考虑到小罗同志的证件进出站比较方便,就派他去接曲卓。
结果,那货全程耷拉着死人脸,害得某人白紧张了一通……
红专楼从外面看着,是栋两层小楼,实际上里面只有一层。
穿过一间很小的风净室,随后一间更小的更衣室里换上防静电鞋,姜秘书带着曲卓进到一条带三面大观察窗的廊道。
廊道里站了十多个人,有黎部长和四机部几位领导,半导体研究所的黄所长和大王先生,还有878的徐厂长和张总工。
剩下的几位也都是熟脸,有清华精密仪器系的、光电所的,还有45所的人。
见曲卓进来,黎部长笑着说道:“嗯~我们的大功臣回来了。”
“嘿~”
曲卓憨笑,连鞠躬带行礼的挨个问好,抽空瞄了眼观察窗里面……一台占地大约十五个平方,卧式分体布局的设备。
设备是全包裹设计,但通过有典型特征的操作台,曲卓分辨出应该是一台,不,应该说是一套光刻机。
不用猜,肯定是用Micralign100的核心部件装配出来的。
事实上,这台被暂时命名为77-1的投影式光刻机,七月初就试车成功了。
经过半个多月的测试,三微米工艺良品率百分之十七点二,六微米工艺良品率百分之五十七点六,十微米良品率达到惊人的百分之八十七点八。
虽然不足百分之九十的良品率,在后世看来并不算高,但就眼下来说,已经可以跻身国际先进水平了。
“厉害呀~”
曲卓听完张总工兴致勃勃的讲解,发出了由衷的感慨。
事实再次证明,起码现阶段,我们的设计能力是绝对没有问题的。
设计组并没有复刻曲卓提供的图纸,而是对Micralign100的核心组件稍加修改和调整,重新设计了光刻机的整体结构。
从原本的柜式一体设计,变成了现在的卧式分体布局。
从结果上看,加工效率比原本设计要略低一些,功耗也略大了一些。
但良品率明显提高,耗材损耗也有所下降。
综合性能绝对超越了Micralign100。
而且,关键点不在于性能上超越了Micralign100多少,而在于有这台设备在手,我们就有了突破封锁的“武器”
。
上面的计划是,下个月对外公布这款达到世界一流水平的“自研”
光刻机。
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