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第366章 突破封锁的武器（第2页）

曲卓一阵无语。

问了一嘴才知道，不苟言笑的家伙姓罗，是安全部门新派到四机部的驻点安全员。

虽然平时在四机部上班，但证件上的单位还是所属部门。

明天有一场级别挺高的会，各地的与会人员今天陆续抵京，火车站安全检查比平时严格了不少。

之前估算时间Z36快到了，黎部长考虑到小罗同志的证件进出站比较方便，就派他去接曲卓。

结果，那货全程耷拉着死人脸，害得某人白紧张了一通……

红专楼从外面看着，是栋两层小楼，实际上里面只有一层。

穿过一间很小的风净室，随后一间更小的更衣室里换上防静电鞋，姜秘书带着曲卓进到一条带三面大观察窗的廊道。

廊道里站了十多个人，有黎部长和四机部几位领导，半导体研究所的黄所长和大王先生，还有878的徐厂长和张总工。

剩下的几位也都是熟脸，有清华精密仪器系的、光电所的，还有45所的人。

见曲卓进来，黎部长笑着说道：“嗯~我们的大功臣回来了。”

“嘿~”

曲卓憨笑，连鞠躬带行礼的挨个问好，抽空瞄了眼观察窗里面……一台占地大约十五个平方，卧式分体布局的设备。

设备是全包裹设计，但通过有典型特征的操作台，曲卓分辨出应该是一台，不，应该说是一套光刻机。

不用猜，肯定是用Micralign100的核心部件装配出来的。

事实上，这台被暂时命名为77-1的投影式光刻机，七月初就试车成功了。

经过半个多月的测试，三微米工艺良品率百分之十七点二，六微米工艺良品率百分之五十七点六，十微米良品率达到惊人的百分之八十七点八。

虽然不足百分之九十的良品率，在后世看来并不算高，但就眼下来说，已经可以跻身国际先进水平了。

“厉害呀~”

曲卓听完张总工兴致勃勃的讲解，发出了由衷的感慨。

事实再次证明，起码现阶段，我们的设计能力是绝对没有问题的。

设计组并没有复刻曲卓提供的图纸，而是对Micralign100的核心组件稍加修改和调整，重新设计了光刻机的整体结构。

从原本的柜式一体设计，变成了现在的卧式分体布局。

从结果上看，加工效率比原本设计要略低一些，功耗也略大了一些。

但良品率明显提高，耗材损耗也有所下降。

综合性能绝对超越了Micralign100。

而且，关键点不在于性能上超越了Micralign100多少，而在于有这台设备在手，我们就有了突破封锁的“武器”

。

上面的计划是，下个月对外公布这款达到世界一流水平的“自研”

光刻机。