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芯片的每个元器件之间只允许有几纳米的间隔。
这就意味着,掩膜和硅晶圆每次对准的误差,也必须控制在纳米级别。
曝光完一个区域之后,放置硅晶圆的曝光台必须快速移动,接着曝光下一个区域。
要在快速移动中实现纳米级的对准,这个难度就相当于,你要从眨眼之间,端着一盘菜从北平故宫冲到魔都外滩,同时还要恰好踩到预定的脚印上,并且菜还保持端平不能洒。
这些都是我们所要继续解决的问题,当然还有后续的一些技术但是相对于以上三个来说,都是可以解决的。
简单地讲我们可以把光刻机看作一台高精度的底片曝光洗印机,它负责把“底片”
,也就是设计好的芯片电路图曝光到“相片纸”
上。
这个“底片”
有一个专业名称,叫做“掩膜”
。
而这里的“相片纸”
,就是制造芯片的基底材料硅晶圆;曝光完成后得到的最终“照片”
,就是芯片。”
龙国中科院光刻机项目领军人物耀长青说道。
“我说老耀,你跟我扬扬洒洒说了那么多,都没说到点子上面。
一句话,在目前技术被封锁的情况下,能不能突破,或者说能不能短时间突破?”
廖启发院长皱着眉头说道。
“廖院长,您要是这样讲,我就直说了,以目前的研究进展不能出现奇迹。
除非能像之前研制‘第六代领航者战斗机’一样,有超级助力,那一切问题自然迎刃而解。”
耀长青说道。
“你们在做的其他这位,还有其他的想法吗?”
廖院长似乎还在期望能抓住最后一根稻草。
看到在场的其他教授都面露难色,他心里也明白,自己实在强人所难了。
突然廖启发像是发了疯一样“老耀,你刚刚说什么?再说一次!”
不知所措的耀长青回答道“那一切问题就迎难而解?”
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“不对,还有前面的!”
“除非能像之前研制‘第六代领航者战斗机’一样,有超级助力,那一切问题自然迎刃而解?是这个吗?”
耀长青心里没底的说道。
“对就是这个!
超级助力!
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