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那人明显一顿,然后道:"我是江源光电所的。
"
方程环视了会议室一圈,说道:"大家来参观交流,我和公司全体同仁是欢迎的。
技术研究嘛,不是闭门造车。
只有经常进行一些技术交流和分享,才能更好更快地推动技术的发展和进步。
"
说到这里,他顿了顿,继续说道:"可做为客人,对主人起码应该有些最起码的尊重吧?
你们可以不认可我们的技术路径,但不能因此就认为我们的技术不行。
我们的技术你真的懂吗?
懂,你们也早就弄出来了。
不懂,那就应该抱着谦虚请教的心,而不是在主家横挑鼻子竖挑眼!
"
方程的一席话,让会场的人都有些如坐针毡,很不自然。
他们做为行业中的翘楚,走到哪里那都是被人捧着哄着,什么时候被人这样批评过?
可他们也是有气撒不出。
因为方程说的也是事实。
他们自己扪心自问,自己确实有些喧宾夺主了。
方程没在这个问题上继续说一下,而是道:"我将大体的思路跟大家说一下,然后我们再一起讨论。
现在西方光刻机光源主要应用的激光等离子体技术,这个我就不多说了。
主要讲讲放电等离子体技术。
"
方程坐在那里开始了他的介绍。
放电等离子体技术,其实就是通过快脉冲、大电流对介质放电,然后形成高温高密度等离子体,从而实现极紫外辐射光自发辐射输出。
而根据放电方式的不同,放电等离子体技术又分为等离子体焦点技术、中空阴极管放电技术、毛细管放电等离子体技术、激光辅助放电等离子体技术。
激光辅助放电等离子体机制极紫外光刻光源,用锡做为工作介质,用纳秒激光与锡相互作用在正负电极之间产生锡的初始等离子体,形成放电通道…
方程大概讲了一遍后,继续道:"国外在几年前也有过此类的研究,相信大家也有耳闻。
虽然放电等离子体技术有诸多优点,比如光源结构简单,投资运营成本低,适合大规模工业应用等。
但它的缺点同样很多。
比如说,碎屑控制、重复频率、放电条件下光源稳定性、增大光源输出角等问题。
"
在座的众人纷纷点头。
这也是他们过来参观方程式有限公司的主要原因。
"我们公司根据其缺点,逐一进行了解决!
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